我們在長時間使用制度光譜儀時，有時候會遇到一些故障，這個時候不要慌也不要擔心是不是機器壞了，仔細檢查出現的故障并進行相應的處理。
故障一：新儀器電腦出現死機，程序錯誤、黑屏、分析軟件的START狀態不對有時變為黃色不動，有時雖然動但是變為紅色，處理辦法：此為通訊線接觸不良，重新連接即可。
故障二：排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。處理辦法：更換排氣管，要更換透明的塑料管，并定期對排氣管路進行吹掃。
故障三：溫度偏高故障處理辦法：檢查儀器后蓋風扇是否轉動，轉動是否靈活。
故障四：真空泵不自動啟動故障，處理辦法：先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下再試。
故障五：P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。處理辦法：檢查真空泵及清洗鏡片
